光氧等離子一體機的主要工作原理是當廢氣進入等內時，先經等離子光氧一體機過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。（在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子全物質，或使有毒有害物質轉變成低毒低害的物質，從而使污染物得以分解